تلفن: ۰۴۱۴۲۲۷۳۷۸۱
تلفن: ۰۹۲۱۶۴۲۶۳۸۴

ترجمه مقاله روان کنندگی سیلیکون های پلی کریستالهای MEMS با پوشش کاربید سیلیکون – نشریه الزویر

عنوان فارسی: روان کنندگی سیلیکون های پلی کریستالهای MEMS از طریق یک پوشش نازک کاربید سیلیکون
عنوان انگلیسی: Lubrication of polycrystalline silicon MEMS via a thin silicon carbide coating
تعداد صفحات مقاله انگلیسی : 8 تعداد صفحات ترجمه فارسی : 13
سال انتشار : 2013 نشریه : الزویر - Elsevier
فرمت مقاله انگلیسی : PDF فرمت ترجمه مقاله : ورد تایپ شده
کد محصول : 5239 رفرنس : دارد
محتوای فایل : zip حجم فایل : 3.18Mb
رشته های مرتبط با این مقاله: مهندسی شیمی، مهندسی مکانیک، مهندسی پلیمر و مهندسی مواد
گرایش های مرتبط با این مقاله: مواد مرکب، نانو مواد، مواد و متالوژی
مجله: حسگرها و محرک A: فیزیکی
دانشگاه: گروه مهندسی شیمی و بیومولکولی، دانشگاه کالیفرنیا، برکلی، کالیفرنیا، ایالات متحده آمریکا
کلمات کلیدی: MEMS، ساختارهایی با نسبت جنبه یا ابعاد بالا، سیلیکون پلی کریستال، روان کننده جامد، Stiction یا اصطکاک استاتیک، اصلاح سطح، مقاومت در برابر سایش
وضعیت ترجمه عناوین تصاویر و جداول: ترجمه نشده است
وضعیت ترجمه متون داخل تصاویر و جداول: ترجمه نشده است
وضعیت فرمولها و محاسبات در فایل ترجمه: به صورت عکس، درج شده است
ترجمه این مقاله با کیفیت عالی آماده خرید اینترنتی میباشد. بلافاصله پس از خرید، دکمه دانلود ظاهر خواهد شد. ترجمه به ایمیل شما نیز ارسال خواهد گردید.
فهرست مطالب

چکیده

مقدمه

2. جزئیات تجربی

2.1 ساختار دستگاه، اصلاحات ساختی و سطحی

2.2 اندازه گیری نیروهای چسبندگی

2.3 مطالعه ی طول عمر

3.نتایج و بحث

3.1 اندازه گیری نیروی چسبندگی

3.2 مطالعات طول عمر

4. نتیجه گیری

نمونه متن انگلیسی

abstract

The contacting surfaces of a microfabricated polycrystalline silicon (polysilicon) double-clamped beam adhesion test structure have been modified with a thin ultra-hard, wear-resistant, and conformal silicon carbide (SiC) film. Adhesion forces in SiC-coated interfaces as a function of apparent area of contact have been determined quantitatively and compared with those in uncoated polysilicon contacts. Furthermore, contact reliability studies have been carried out by following the changes in physicochemical properties of the surfaces after >100 billion contact cycles. The results highlight the tribological benefits of SiC coating as a solid lubricant in devices undergoing cyclic contacts.

نمونه متن ترجمه

چکیده

ساختار تست چسبندگی پرتو double-clamped سطوح تماس سیلیکون های پلی کریستالی ریزساختار (پلی سیلیکون)، از طریق یک فیلم نازک فوق العاده سخت، مقاوم در برابر سایش و یک کاربید سیلیکون منسجم (SiC) اصلاح شده است. نیروهای چسبندگی در رابط های با Sic پوشش داده شده به عنوان تابعی از منطقه مشخص تماس بطور کمیتی تعیین شده است و با انهایی که در تماس با پلی سیلیکون های غیرپوششی هستند مقایسه شده است. بعلاوه مطالعات قابلیت اطمینان بودن تماسی، توسط دنبال کردن تغییراتی در خصوصیات فیزیک وشیمیایی سطوحی با کمتر از 100 بیلیون چرخه تماسی انجام گرفتند. نتایج، مزایای تریبولوژیکی پوشش Sic را به عنوان یک روان کننده جامد در دستگاههای در معرض چرخه های تماسی را نشان دادند.