ترجمه مقاله روان کنندگی سیلیکون های پلی کریستالهای MEMS با پوشش کاربید سیلیکون - نشریه الزویر

قیمت خرید این محصول

۱۱۶,۰۰۰ تومان

دانلود رایگان نمونه دانلود مقاله انگلیسی

عنوان فارسی

روان کنندگی سیلیکون های پلی کریستالهای MEMS از طریق یک پوشش نازک کاربید سیلیکون

عنوان انگلیسی

Lubrication of polycrystalline silicon MEMS via a thin silicon carbide coating

صفحات مقاله فارسی

13

صفحات مقاله انگلیسی

8

سال انتشار

2013

نشریه

الزویر - Elsevier

فرمت مقاله انگلیسی

PDF

فرمت ترجمه مقاله

ورد تایپ شده

رفرنس

دارد

کد محصول

5239

وضعیت ترجمه عناوین تصاویر و جداول

ترجمه نشده است

وضعیت ترجمه متون داخل تصاویر و جداول

ترجمه نشده است

وضعیت فرمولها و محاسبات در فایل ترجمه

به صورت عکس، درج شده است

رشته های مرتبط با این مقاله

مهندسی شیمی، مهندسی مکانیک، مهندسی پلیمر و مهندسی مواد

گرایش های مرتبط با این مقاله

مواد مرکب، نانو مواد، مواد و متالوژی

مجله

حسگرها و محرک A: فیزیکی

دانشگاه

گروه مهندسی شیمی و بیومولکولی، دانشگاه کالیفرنیا، برکلی، کالیفرنیا، ایالات متحده آمریکا

کلمات کلیدی

MEMS، ساختارهایی با نسبت جنبه یا ابعاد بالا، سیلیکون پلی کریستال، روان کننده جامد، Stiction یا اصطکاک استاتیک، اصلاح سطح، مقاومت در برابر سایش

۰.۰ (هنوز امتیازی ثبت نشده است)

فهرست مطالب

چکیده
مقدمه
2. جزئیات تجربی
2.1 ساختار دستگاه، اصلاحات ساختی و سطحی
2.2 اندازه گیری نیروهای چسبندگی
2.3 مطالعه ی طول عمر
3.نتایج و بحث
3.1 اندازه گیری نیروی چسبندگی
3.2 مطالعات طول عمر
4. نتیجه گیری

نمونه چکیده متن اصلی انگلیسی

abstract

The contacting surfaces of a microfabricated polycrystalline silicon (polysilicon) double-clamped beam adhesion test structure have been modified with a thin ultra-hard, wear-resistant, and conformal silicon carbide (SiC) film. Adhesion forces in SiC-coated interfaces as a function of apparent area of contact have been determined quantitatively and compared with those in uncoated polysilicon contacts. Furthermore, contact reliability studies have been carried out by following the changes in physicochemical properties of the surfaces after >100 billion contact cycles. The results highlight the tribological benefits of SiC coating as a solid lubricant in devices undergoing cyclic contacts.

نمونه چکیده ترجمه متن فارسی

چکیده
ساختار تست چسبندگی پرتو double-clamped سطوح تماس سیلیکون های پلی کریستالی ریزساختار (پلی سیلیکون)، از طریق یک فیلم نازک فوق العاده سخت، مقاوم در برابر سایش و یک کاربید سیلیکون منسجم (SiC) اصلاح شده است. نیروهای چسبندگی در رابط های با Sic پوشش داده شده به عنوان تابعی از منطقه مشخص تماس بطور کمیتی تعیین شده است و با انهایی که در تماس با پلی سیلیکون های غیرپوششی هستند مقایسه شده است. بعلاوه مطالعات قابلیت اطمینان بودن تماسی، توسط دنبال کردن تغییراتی در خصوصیات فیزیک وشیمیایی سطوحی با کمتر از 100 بیلیون چرخه تماسی انجام گرفتند. نتایج، مزایای تریبولوژیکی پوشش Sic را به عنوان یک روان کننده جامد در دستگاههای در معرض چرخه های تماسی را نشان دادند.