تلفن: 04142273781

ترجمه مقاله تریبولوژی میکرو/نانو مقیاس مواد MEMS روان کننده ها و وسایل

عنوان فارسی: تریبولوژی میکرو/نانو مقیاس مواد MEMS، روان کننده ها و وسایل
عنوان انگلیسی: MICRO/NANOSCALE TRIBOLOGY OF MEMS MATERIALS, LUBRICANTS AND DEVICES
تعداد صفحات مقاله انگلیسی : 13 تعداد صفحات ترجمه فارسی : 30
فرمت مقاله انگلیسی : PDF فرمت ترجمه مقاله : ورد تایپ شده
کد محصول : 6342 رفرنس : دارد
محتوای فایل : zip حجم فایل : 1.83Mb
رشته های مرتبط با این مقاله: مهندسی مواد، مهندسی برق و مهندسی مکانیک
گرایش های مرتبط با این مقاله: نانومواد، افزاره های میکرو و نانو الکترونیک، مکاترونیک، مهندسی کنترل، مهندسی الکترونیک و ساخت و تولید
دانشگاه: دانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه ایالتی اوهایو، ایالات متحده آمریکا
کلمات کلیدی: MEMS، نانوتریبولوژی، روانکاری، اصطکاک استاتیک، AFM
وضعیت ترجمه عناوین تصاویر و جداول: ترجمه شده است
وضعیت ترجمه متون داخل تصاویر و جداول: ترجمه نشده است
ترجمه این مقاله با کیفیت عالی آماده خرید اینترنتی میباشد. بلافاصله پس از خرید، دکمه دانلود ظاهر خواهد شد. ترجمه به ایمیل شما نیز ارسال خواهد گردید.
فهرست مطالب

خلاصه

1. مقدمه- مسائل تریبولوژیکی در MEMS

2. مطالعات تریبولوژیکی در مورد مواد MEMS

1. 2 نمونه های سیلیکون استفاده نشده و روکش دار/ اصلاح شده

1. 1. 2 خصوصیات تریبولوژیکی سیلیکون و اثر کاشت یون

2. 1. 2 اثر اکسایش بر خصوصیات تریبولوژیکی سیلیکون

2. 2 مطالعات تریبولوژیکی فیلم های پلی سیلیکون و SiC

3. مطالعات تریبولوژیکی روان کننده ها برای MEMS

1. 3 روان کننده های پرفلوروپلی اتر

2. 3 فیلم های Langmuir-Blodgett و تک لایه های خود مونتاژ

2. 4 اندازه گیری نیروی اصطکاک استاتیک (stiction) در MEMS

3. 4 مکانیزم های مرتبط با پدیده های اصطکاک استاتیک مشاهده شده در میکروموتورها

5. نتایج

نمونه متن انگلیسی

SUMMARY

Although the field of MEMS has expanded considerably over the last decade, the scale of operation and large surfaceto-volume ratio of the devices result in very high retarding forces such as friction and adhesion that seriously undermine the performance and reliability of the devices. These are tribological phenomena that need to be studied and understood at the micro to nanoscales. In addition, materials for MEMS must exhibit good microscale tribological properties. Alternate materials to silicon that exhibit superior tribological properties under harsh operating conditions need to be identified. There is also a need to develop lubricants and identify lubrication methods that are suitable for MEMS. A summary of macro and micro/nanotribological studies of materials and lubricants for use in MEMS devices is presented. In particular, silicon, polysilicon and SiC based materials are studied. Perfluoropolyether films and self-assembled monolayers are investigated for lubrication of MEMS. Finally, component level testing of micromotors has also been carried out to aid in better understanding of the observed tribological phenomena in MEMS.

نمونه متن ترجمه

خلاصه

هرچند فیلد یا رشته MEMS در طول دهه گذشته به طور قابل ملاحظه ای توسعه یافته است، اما مقیاس عملیات و نسبت بزرگ سطح به حجم وسایل منجر به نیروهای بازدارنده بسیار بالایی نظیر اصطکاک و چسبندگی می گردد که عملکرد و قابلیت اطمینان وسایل را به طور جدی تحلیل می دهند. اینها پدیده های تریبولوژی هستند که در مقیاس های میکرو تا نانو باید مطالعه و شناخته شوند. به علاوه، مواد MEMS بایستی خصوصیات تریبولوژیکی میکرومقیاس خوبی به معرض نمایش بگذارند. مواد جایگزین برای سیلیکون که تحت شرایط عملیاتی نامساعد، خصوصیات تریبولوژیکی برتری به معرض نمایش می گذارند، باید شناسایی شوند. در این راستا توسعه روان کننده ها و شناسایی روشهای روانکاری مناسب برای MEMS نیز لازم و ضروری می باشد. در اینجا خلاصه ای از مطالعات میکرو/ نانوتریبولوژیکی مواد و روان کننده های مورد استفاده در وسایل MEMS مطرح شده است. به ویژه، سیلیکون، پلی سیلیکون، و مواد مبتنی بر SiC مطالعه شده اند. فیلم ها یا لایه های پرفلوروپلی اتر و تک لایه های خودمونتاژشده برای روانکاری MEMS مورد پژوهش قرار گرفته اند. بالاخره، برای کمک به درک و شناخت پدیده های تریبولوژیکی مشاهده شده در MEMS، تست سطح مولفه (جزء سازنده) میکروموتورها نیز انجام شده است.